...Με το σύστημα μεταφοράς LeviWafer-Gripper είναι δυνατή η ανύψωση και η μεταφορά ευαίσθητων waferχωρίςεπαφή. Σε συνδυασμό με τη μεταφορά, είναι επίσης δυνατή η (εκφόρτωση) φόρτωση στοίβων και κασετών.
Ο γάντζος χρησιμοποιεί τεχνολογία υπερηχητικής στήριξης για να διατηρεί το wafer σε απόσταση, επιτρέποντας έτσι τη μεταφορά χωρίςεπαφή. Εκτός από μικρο-γρατζουνιές και μικρο-ρωγμές, αποφεύγεται η...