LeviWafer-Gripper

Με το σύστημα μεταφοράς LeviWafer-Gripper είναι δυνατή η ανύψωση και η μεταφορά ευαίσθητων wafer χωρίς επαφή. Σε συνδυασμό με τη μεταφορά, είναι επίσης δυνατή η (εκφόρτωση) φόρτωση στοίβων και κασετών. Ο γάντζος χρησιμοποιεί τεχνολογία υπερηχητικής στήριξης για να διατηρεί το wafer σε απόσταση, επιτρέποντας έτσι τη μεταφορά χωρίς επαφή. Εκτός από μικρο-γρατζουνιές και μικρο-ρωγμές, αποφεύγεται η μόλυνση από σωματίδια, καθώς χωρίς συμπιεσμένο αέρα δεν δημιουργούνται αεροδυναμικές αναταράξεις. Επομένως, ο γάντζος είναι επίσης πολύ κατάλληλος για καθαρές αίθουσες. Ο LeviWafer-Gripper μπορεί να σχεδιαστεί με μονό ή διπλό πηρούνι. Χαρακτηριστικά του LeviWafer-Gripper: - Ανάληψη χωρίς επαφή - Χωρίς μικρο-γρατζουνιές, μικρο-ρωγμές ή σωματίδια - Κατάλληλος για τυπικές κασέτες - Χαμηλή κατανάλωση ενέργειας - Προσαρμόσιμος σύμφωνα με τις προδιαγραφές του πελάτη