LeviWafer Πιεστικό

Με το σύστημα μεταφοράς LeviWafer-Greifer είναι δυνατή η επαφή χωρίς επαφή ευαίσθητων wafer. Σε συνδυασμό με τη μεταφορά, είναι επίσης δυνατή η φόρτωση και εκφόρτωση κασετών ή στοίβων. Ο Greifer κρατά τον wafer σε απόσταση με τη βοήθεια της τεχνολογίας υπερηχητικών ρουλεμάν, επιτρέποντας έτσι μια επαφή χωρίς επαφή. Εκτός από μικρο-γρατζουνιές και -ρωγμές, αποφεύγονται οι ρυπάνσεις από σωματίδια, καθώς χωρίς συμπιεσμένο αέρα δεν δημιουργούνται αναταράξεις αέρα. Γι' αυτόν τον λόγο, ο Greifer είναι επίσης πολύ κατάλληλος για καθαρούς χώρους. Ο LeviWafer-Greifer μπορεί να κατασκευαστεί με ένα Single ή DoublePaddle. Χαρακτηριστικά του LeviWafer-Greifer: - Επαφή χωρίς επαφή - Καμία μικρογρατζουνιά, μικρορωγμή ή σωματίδιο - Κατάλληλος για τυπικές κασέτες - Χαμηλή κατανάλωση ενέργειας - Προσαρμόσιμος σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη