Αναλυτές Υπολειμματικών Αερίων (RGA) και Μασσομετρητές - MPH100F

ΑΠΕΛΕΥΘΕΡΩΣΤΕ ΤΗ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΑ ΣΑΣ Απαράμιλλη Απόδοση για Αυξημένες Αποδόσεις και Μέγιστο Χρόνο Λειτουργίας Η συνεχώς αυξανόμενη τιμή των πυριτίου και η ζήτηση για έτοιμα προϊόντα σημαίνει ότι οι απορριφθέντες δίσκοι κοστίζουν περισσότερο από ποτέ. Έτσι, η κατανόηση της διαδικασίας σας και η παρακολούθηση για ελαττώματα έχουν γίνει πολύ υψηλότερη προτεραιότητα στα κέντρα κατασκευής ημιαγωγών. Το Σύστημα Ανάλυσης Αερίων Transpector MPH έχει σχεδιαστεί για να απελευθερώσει τη διαδικασία σας με κορυφαία απόδοση για όλες τις εφαρμογές ανάλυσης αερίων σας, βοηθώντας να μεγιστοποιηθούν οι αποδόσεις των τσιπ και να ελαχιστοποιηθεί ο χρόνος διακοπής των εργαλείων. Συνδυασμένο με χαμηλό συνολικό κόστος ιδιοκτησίας και υψηλό μέσο χρόνο μεταξύ αποτυχιών, το Transpector MPH βοηθά την κερδοφορία σας περισσότερο από οποιονδήποτε άλλο αναλυτή υπολειμματικών αερίων (RGA) στην αγορά. Η INFICON έχει αξιοποιήσει την εμπειρία της στον έλεγχο διαδικασιών ανάλυσης αερίων για να δημιουργήσει έναν RGA με κορυφαία ταχύτητα συλλογής δεδομένων, ελάχιστη ανιχνεύσιμη μερική πίεση και λόγο σήματος προς θόρυβο. Όλα αυτά, χωρίς να θυσιάζεται καμία από τις... Μήκος Αισθητήρα: 14.3 εκ. Εύρος Μάζας: 100 amu Τύπος Ανιχνευτή: FC Ευαισθησία (FC): 6E-4 A/Torr Ευαισθησία (EM): NA Ελάχιστη Ανιχνεύσιμη Μερική Πίεση (4): 3E-13 Torr Μέγιστη Θερμοκρασία Λειτουργίας Αισθητήρα (FC): 200°C Μέγιστη Θερμοκρασία Λειτουργίας Αισθητήρα (EM): NA Επιλογή Τύπου Νήματος (1): Y2O3/Ir Επιλογή Τύπου Νήματος (2): Ταντάλιο Μέγιστος Ρυθμός Δεδομένων ανά Σημείο: 1.8 ms Μέγιστη Λειτουργική Πίεση: 5E-4 Torr Μέγιστη Θερμοκρασία Ξηράνσης: 300 Είσοδος Ικανότητας: 20-30 VDC