Υψηλής ακρίβειας μετρητές κενού - 1000 ... 500 Torr / mbar

Οι μετρητές υψηλής θερμοκρασίας INFICON SKY CDG200D είναι η καλύτερη επιλογή σας για ακριβή μέτρηση και έλεγχο συνολικής πίεσης. Οι μετρητές CDG200D ελέγχονται θερμοκρασιακά στους 200 °C για ανώτερη απόδοση σε απαιτητικές διαδικασίες ημιαγωγών και πλάσματος. Είναι διαθέσιμοι για πλήρεις κλίμακες από 1 Torr έως 1000 Torr, με όλους τους κοινούς τύπους φλαντζών και διεπαφές fieldbus και παρέχουν μια γραμμική σήμα πίεσης 0 έως 10 V, ανεξάρτητη από τον τύπο αερίου. Οι μετρητές χωρητικότητας INFICON χρησιμοποιούν μια υπερκαθαρή κεραμική διαφράγματος από αλουμίνα που είναι ανθεκτική στη διάβρωση. Τα πλεονεκτήματα του κεραμικού αισθητήρα περιλαμβάνουν καλύτερη σταθερότητα σήματος, ταχύτερη αποκατάσταση από την ατμόσφαιρα, σύντομο χρόνο προθέρμανσης και εξαιρετική διάρκεια ζωής. Οι μετρητές INFICON CDG είναι υψηλής ποιότητας, οικονομικοί αισθητήρες πίεσης για απαιτητικές εφαρμογές ημιαγωγών, πλάσματος και κενού. Με διεπαφή EtherCAT ψηφιακή διαθέσιμη τώρα! (1) Μη γραμμικότητα, υστέρηση, επαναληψιμότητα σε θερμοκρασία περιβάλλοντος 25 °C χωρίς θερμικές επιδράσεις μετά από 2 ώρες... Ακρίβεια (1): 0.4 σε μηδέν: 0.005 σε κλίμακα: 0.02 Μέγιστη πίεση: 400 Ανάλυση: 0.003 Χαμηλότερη μέτρηση: 0.01 Χαμηλότερη προτεινόμενη μέτρηση: 0.05 Χαμηλότερη προτεινόμενη πίεση ελέγχου: 0.5 Λειτουργία (περιβάλλον) (4): +10 … +50 Ψήσιμο στη φλάντζα: ≤200 Αποθήκευση: –40 … +65 Τάση τροφοδοσίας: +21 … +30 V DC ή ±15 V (±5%) Κατά τη διάρκεια θέρμανσης: ≤25 Σε θερμοκρασία λειτουργίας: ≤18 Σήμα εξόδου (αναλογικό): 0 … +10 Χρόνος απόκρισης (2): 30 Βαθμός προστασίας: IP 40 Συμμόρφωση CE: EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS Πιστοποίηση ETL: UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 Συμμόρφωση SEMI: SEMI S2 Ηλεκτρική σύνδεση: D-Sub, 15-pin, αρσενικό Αριθμός σημείων ρύθμισης: 2 (SP1, SP2) Επαφή ρελέ: ≤30 Πρωτόκολλο: RS232-C Ανάγνωση: πίεση, κατάσταση, ID Ρύθμιση: σημεία ρύθμισης, φίλτρο, ρύθμιση μηδενός, εργοστασιακή επαναφορά, DC offset Υλικά που εκτίθενται σε κενό: Κεραμική αλουμίνας (AI 2O 3), ανοξείδωτο χάλυβα (AISI 316L (3)) I. όγκος σωλήνα 1/2'': 4.2 (0.26) I. όγκος DN 16 ISO KF: 4.2 (0.26) I. όγκος DN 16 CF-R: 4.2 (0.26) I. όγκος 8 VCR®: 4.2 (0.26) Βάρος σωλήνα 1/2'': 837 Βάρος DN 16 ISO KF: 852 Βάρος DN 16 CF-R: 875 Βάρος 8 VCR®: 897 Πρωτόκολλο EtherCAT: πρωτόκολλο ειδικά για EtherCAT Πρότυπα επικοινωνίας: Μετρητής πίεσης κενού