...Οι κάρτες δοκιμής MµProbe® χαρακτηρίζονται από στοιχείαεπαφήςMEMS και είναι ιδιαίτερα κατάλληλες για εφαρμογές πλήρους διάταξης με λεπτή απόσταση σε δοκιμές wafer.
...Ο βασισμένος σε MEMS MTS1TEMP56 ανιχνεύει την υπέρυθρη ακτινοβολία για την επαφή θερμοκρασίας. Οι 56 πυλώνες θερμότητας από πυρίτιο απορροφούν την εισερχόμενη ακτινοβολία. Ο ενσωματωμένος απορροφητής μάζας εξασφαλίζει την αποδοτική μετατροπή της ακτινοβολίας σε θερμική ενέργεια. Τα θερμοηλεκτρικά στοιχεία μετατρέπουν αυτή τη θερμική ενέργεια σε ηλεκτρική ενέργεια, η οποία εξάγεται ως σήμα...