...Οι ρομπότ καθαρού δωματίου της σειράς NT είναι σχεδιασμένα έτσι ώστε ένα μόνο ρομπότ να μπορεί να προσεγγίσει έως και τέσσερις FOUPs χωρίς να χρησιμοποιεί γραμμικό άξονα. Η σειρά NT μπορεί με τον σχεδιασμό επόμενης γενιάς να χειρίζεται τόσο 300-mm όσο και 400-mm wafer με ρυθμό 400 wafer ανά ώρα (WPH) χωρίς ευθυγραμμιστή. Μια ευρεία γενιά οριζόντιων ρομπότμεαρθρωτόβραχίονα για γραμμές παραγωγής...