μέτρα μαζικής ροής

...Θερμική μέτρηση και ρύθμιση ροής μάζας Βασικά χαρακτηριστικά*: Περιοχές μέτρησης και ρύθμισης: + Μετρητής ροής: 0 – 5 sccm έως 0 – 15,000 slm (ισοδύναμο N2) + Ρυθμιστής ροής: 0 – 5 sccm έως 0 – 10,000 slm (ισοδύναμο N2) + Υψηλή ακρίβεια μέτρησης: από ±(0.2% του τελικού αξίας + 0.5% της μετρηθείσας τιμής) + Υψηλή αναπαραγωγιμότητα: από ±0.05% του τελικού αξίας + Σύντομοι χρόνοι απόκρισης...