κλείσιμο pico

...Κλείσιμο Κορυφής...

... 130 mm, T 200 - 320 mm Κάψουλα κενού (όγκος): περίπου 5 - 8 λίτρα Κάψουλα κενού (κλείσιμο): καπάκι, πόρτα με μεντεσέ Τροφοδοσία αερίου: Βαλβίδες βελόνας / Μετρητές μάζας (Mass-Flow-Controller (MFCs) Μέτρηση πίεσης: Pirani, Πιεζομετρικός μετρητής (για εκδοχή με διαβρωτικό αέριο) Γεννήτριες: 40 kHz; 100 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Ηλεκτρόδια: Ένα ή περισσότερα επίπεδα Συστήματα ελέγχου: Ημι-αυτόματο, Περιστροφικός διακόπτης, Basic PC, Full PC Τροφοδοσία τάσης: 230 V / 400 V / 50 - 60 Hz Αντλίες κενού: Ικανότητα αναρρόφησης: 6 m³/h...