Μονάδα Διαχείρισης Wafer με Μονάδες

Το Μονοδιάστατο Σύστημα Διαχείρισης Wafers διευκολύνει όλες τις διαδικασίες χειρισμού των wafers. Η φόρτωση και η εκφόρτωση, η μεταφορά, η σύλληψη, η επιθεώρηση, η ταξινόμηση και η διαχωρισμός μπορούν να πραγματοποιηθούν από ένα μόνο σύστημα. Με τη βοήθεια της τεχνολογίας υπερήχων, το wafer διατηρεί μια απόσταση σε ολόκληρο το μονοδιάστατο σύστημα. Αυτό αποτρέπει τις μικρο-γρατζουνιές και τη μόλυνση. Χαρακτηριστικά του Μονοδιάστατου Συστήματος Διαχείρισης Wafers: - Μονοδιάστατος σχεδιασμός - Μεταφορά χωρίς επαφή - Προσαρμόσιμο σύμφωνα με τις προδιαγραφές του πελάτη - Σειριακή εκτέλεση πολλών διαδικασιών στο ίδιο σύστημα