SIGA GMBH

Η SIGA αναπτύσσει και κατασκευάζει προσαρμοσμένα συστήματα για τη μέτρηση, ρύθμιση και έλεγχο ροών αερίου και για την εξάτμιση και δοσολογία υγρών προδρόμων, συμπληρωμένα με συστήματα τροφοδοσίας προδρόμων. Με τα συστήματα αερίου μας μπορείτε να δοσολογείτε ένα αέριο ή πολλά αέρια ή προδρόμους και να τα τροφοδοτείτε σε μία ή περισσότερες θέσεις χρήσης. Τα συστήματα συμπληρώνονται με έναν υπολογιστή για τον έλεγχο με υλικό και λογισμικό. Η σχεδίαση γίνεται σύμφωνα με τις επιθυμίες σας με βάση την εμπειρία μας. Προσφέρουμε μεταξύ άλλων συστήματα εξάτμισης προδρόμων & συστήματα τροφοδοσίας, συστήματα καυστήρων, συστήματα φιλτραρίσματος ενεργού άνθρακα. Χρησιμοποιούνται ρυθμιστές ροής μάζας MFCs, βαλβίδες, φίλτρα, αισθητήρες πίεσης, αισθητήρες θερμοκρασίας κ.λπ. Το πεδίο εφαρμογής είναι παντού όπου χρησιμοποιούνται αέρια σε διαδικασίες παραγωγής, π.χ. για την απόθεση λεπτών στρωμάτων CVD. Πιστοποιητικό DIN EN ISO 9001 Συστήματα της SIGA •Σύστημα εξάτμισης προδρόμων ◦Εξατμιστής για έναν προδρόμο ◦Εξατμιστής για 2 ή περισσότερους προδρόμους ◦Δοσολογία υγρού με ακολουθούμενη εξάτμιση •Συστήματα τροφοδοσίας προδρόμων •Συστήματα μίξης αερίου •Συστήματα καθαρού αερίου •Σταθμοί φόρτωσης AKF •Συστήματα καυστήρων