Σύστημα τοποθέτησης XY Prior με γραμμικούς κινητήρες, τραπέζια HLD με την υψηλότερη ακρίβεια

Θέση τραπεζιού με γραμμικό κινητήρα; Μικροσκοπική με εξαιρετική επαναληψιμότητα; ενσωματωμένος κωδικοποιητής 50 nm; εκδόσεις διαθέσιμες για διάφορα αντίστροφα μικροσκόπια; OEM έκδοση κατόπιν αιτήματος; Συνιστώμενος ελεγκτής VLD31XYZ • Επαναληψιμότητα: 0,15 µm • Ελάχιστο βήμα: 0,05 µm • Μετρική ακρίβεια: 0,045 µm • Ελάχιστη ταχύτητα: 1 µm/sec • Μέγιστη ταχύτητα: 300 mm/sec • Διαδρομή: 121 x 81 mm Επαναληψιμότητα: 0,15 µm Ελάχιστο βήμα: 0,05 µm Μετρική ακρίβεια: 0,045 µm Ελάχιστη ταχύτητα: 1 µm/sec Μέγιστη ταχύτητα: 300 mm/sec Διαδρομή: 121 x 81 mm