Εργαλεία κατάθεσης και χάραξης - Τεχνολογία πλάσματος - PlasmaPro 100 PECVD Cluster

Εργαλεία παραγωγής κασέτας προς κασέτα PlasmaPro 100 Cobra ομαδοποιημένο χρησιμοποιώντας 7-δρομικό ρομποτικό χειριστή Μονάδες επεξεργασίας 200mm & πολυ- wafer με εξαιρετική ομοιομορφία & υψηλή απόδοση σε μια σειρά εφαρμογών, ως αυτόνομα ή ομαδοποιημένα συστήματα. Οι πλατφόρμες μπορούν να ομαδοποιηθούν για να συνδυάσουν τεχνολογίες και διαδικασίες με επιλογές φόρτωσης είτε κασέτας είτε μεμονωμένου wafer. Διαθέσιμες διαμορφώσεις θαλάμου μεταφοράς σε εξαγωνικό ή τετράγωνο σχήμα. ** Κάντε κλικ για να ζητήσετε τιμές **