Αυτόματη Μηχανή Επικάλυψης - Αυτόματη φόρτωση και εκφόρτωση φορέων επικάλυψης για επικαλύψεις CVD και PVD

Η Metzner παρέχει μια σειρά από αποδεδειγμένες λύσεις αυτοματοποίησης για την αυτόματη φόρτωση και εκφόρτωση φορέων επικάλυψης για επικάλυψη CVD και PVD. Οι συντομογραφίες PVD (Φυσική Εναπόθεση Ατμού) και CVD (Χημική Εναπόθεση Ατμού) αναφέρονται σε διαφορετικές διαδικασίες επικάλυψης. Κατά τη φόρτωση των PVD ακίδων, διακρίνουμε μεταξύ "μοναδικής φόρτωσης" και "φόρτωσης ανά ζεύγη". Εκτός από τη φόρτωση μερών, φορτώνονται και διαχωριστικά στις ακίδες εκτός από τα μέρη. Στη μοναδική φόρτωση, ένα διαχωριστικό βρίσκεται πίσω από κάθε μεμονωμένο στοιχείο, ενώ στη φόρτωση ανά ζεύγη, δύο στοιχεία τοποθετούνται "ανά ζεύγη" και μόνο τότε φορτώνεται ένα διαχωριστικό. Για την υλοποίηση της "φόρτωσης ανά ζεύγη", μια σταθμός περιστροφής ενσωματώνεται στη μηχανή. Αυτός ο σταθμός χρησιμοποιείται για να περιστρέψει το αντίστοιχο στοιχείο κατά 180 μοίρες, φορτώνοντάς το απευθείας στην αντίστοιχη ακίδα.