Η έγκαιρη πληροφόρηση είναι απαραίτητη για την αύξηση της παραγωγικότητας του εργοστασίου και τη διατήρηση της ανταγωνιστικότητας στην αγορά. Η πίεση για την αύξηση της κερδοφορίας καθιστά κρίσιμο το να είναι ένα εργοστάσιο παραγωγικό και ευέλικτο, ενώ παράλληλα αυξάνει την απόδοση και τη ροή παραγωγής. Το FabGuard APC εξοικονομεί χρόνο και χρήμα στις λειτουργίες του εργοστασίου εκτελώντας στρατηγικές ελέγχου run-by-run (RbR) που οδηγούν τα αποτελέσματα της διαδικασίας ώστε να επιτευχθούν οι στόχοι ανεξαρτήτως των καθημερινών αποκλίσεων εξοπλισμού ή διαδικασίας.
Τα συστήματα APC συλλέγουν μετρήσεις προϊόντων και σημεία ρύθμισης συνταγών που χρησιμοποιούνται για τον υπολογισμό νέων σημείων ρύθμισης συνταγών που βελτιστοποιούν την επεξεργασία των wafer. Η χρήση ενός συστήματος APC μεγιστοποιεί τις συνολικές αποδόσεις προϊόντων και αυξάνει τα κέρδη διασφαλίζοντας ότι κάθε wafer αποδίδει όσο το δυνατόν πιο κοντά στις μετρήσεις του τέλους της γραμμής.
Οφέλη
Το FabGuard APC αυξάνει τις αποδόσεις, μειώνει τα κόστη και ενισχύει την παραγωγή παρέχοντας βέλτιστα σημεία ρύθμισης διαδικασίας για να αντισταθμίσει τις παραλλαγές εξοπλισμού και περιβάλλοντος.
Στρατηγική και ροή
Το FabGuard APC σας παρέχει...
Διαχείριση Εργαλείων, Ειδική για Διαδικασία
Τα Συστήματα Ενσωμάτωσης και Ανάλυσης Σένσορα INFICON παρέχουν επαλήθευση και έλεγχο της διαδικασίας, συμ...
ΕΝΤΑΓΜΕΝΗ ΔΙΑΧΕΙΡΙΣΗ ΣΥΝΤΑΓΩΝ ΕΡΓΑΛΕΙΩΝ
Η αυξανόμενη πολυπλοκότητα της παραγωγής και οι απαιτήσεις για καλύτερο έλεγχο διαδικασιών απαιτούν καλύτερη ...
Δυνατές αλλά Συμπαγείς Λύσεις για την Ανάπτυξη του FabGuard
Οι Ελεγκτές FabGuard παρέχουν ισχυρές συμπαγείς λύσεις για την ανάπτυξη ολοκληρωμένων λύσε...
Έξυπνη Τεχνολογία
Δοκιμή Διαρροών Sniffer που Μπορείτε να Εμπιστευτείτε
Ο ανιχνευτής διαρροών ήλιου INFICON Protec P3000(XL) έχει σχεδιαστεί ειδικά ...
Ο συνδυαστικός μετρητής INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, λειτουργεί ως δύο μετρητές σε μία συμπαγή μονάδα που μετρά από 5×10 -10 mbar έως ατμόσφα...
ΜΗ ΕΠΕΜΒΑΤΙΚΟΣ, ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΙΧΝΕΥΣΗΣ RF ΜΕ ΣΦΙΞΙΜΟ ΠΑΡΕΧΕΙ ΓΡΗΓΟΡΗ ΑΝΙΧΝΕΥΣΗ ΑΨΙΔΩΝ ΣΕ iPVD, PECVD ΚΑΙ ΕΚΧΩΡΗΣΗ
Μείωση Απώλειας Wafer και Βελτίωση Αποδ...
Ο αισθητήρας RF με το FabGuard παρέχει ανάλυση διαδικασίας πλάσματος σε πραγματικό χρόνο για σημαντική μείωση της μεταβλητότητας της διαδικασίας
Η τε...
Ο συνδυαστικός μετρητής INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, λειτουργεί ως δύο μετρητές σε μία συμπαγή μονάδα, με μέτρηση από 5×10 -10 mbar έως ατμόσ...
Ο μετρητής Penning PEG100 της INFICON παρέχει αξιόπιστες μετρήσεις υψηλού κενού. Ο ανθεκτικός αισθητήρας κρύας καθόδου Penning δεν έχει νήμα που να κα...
Ο ανιχνευτής Sion™ RF σας παρέχει πιο αυστηρό έλεγχο και υψηλότερες αποδόσεις στις διαδικασίες χημικής εναπόθεσης ατμού (CVD) και διάβρωσης, προσδιορί...
Δοκιμή Διαρροής για τις Υψηλότερες Ποιοτικές Απαιτήσεις
Η INFICON κάνει ένα ακόμη βήμα προς την ανίχνευση διαρροών σε υψηλό επίπεδο με τον ανιχνευτή ...
Η οθόνη κενού INFICON VGD500 συνδέεται με τη σειρά προϊόντων CDG μας για να παρέχει μια οθόνη 4 ψηφίων. Είναι μια μικρή μονάδα που εμφανίζει την πίεση...
Οι μετρητές INFICON Inverted Magnetron Pirani, MPG400 και MPG401, μετρούν από 5 x 10 -9 mbar έως ατμόσφαιρα (3.8 x 10 -9 Torr έως ατμόσφαιρα). Συνδυάζ...
Θέτοντας Νέα Πρότυπα για την Ανίχνευση Διαρροών
Ο ανιχνευτής διαρροών πολλαπλών αερίων INFICON Ecotec E3000 φέρνει νέα επίπεδα παραγωγικότητας και αξ...
Η πιο ισχυρή μηχανή ανάκτησης ψυκτικού που διατίθεται με την καλύτερη εγγύηση στον κλάδο
Η νέα Vortex® Dual συνδυάζει τις αποδεδειγμένες δυνατότητες ...
Διαχείριση Εργαλείων, Ειδική για Διαδικασία
Τα Συστήματα Ενσωμάτωσης και Ανάλυσης Σένσορα INFICON παρέχουν επαλήθευση και έλεγχο της διαδικασίας, συμ...
ΕΝΤΑΓΜΕΝΗ ΔΙΑΧΕΙΡΙΣΗ ΣΥΝΤΑΓΩΝ ΕΡΓΑΛΕΙΩΝ
Η αυξανόμενη πολυπλοκότητα της παραγωγής και οι απαιτήσεις για καλύτερο έλεγχο διαδικασιών απαιτούν καλύτερη ...
Δυνατές αλλά Συμπαγείς Λύσεις για την Ανάπτυξη του FabGuard
Οι Ελεγκτές FabGuard παρέχουν ισχυρές συμπαγείς λύσεις για την ανάπτυξη ολοκληρωμένων λύσε...
Έξυπνη Τεχνολογία
Δοκιμή Διαρροών Sniffer που Μπορείτε να Εμπιστευτείτε
Ο ανιχνευτής διαρροών ήλιου INFICON Protec P3000(XL) έχει σχεδιαστεί ειδικά ...
Ο συνδυαστικός μετρητής INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, λειτουργεί ως δύο μετρητές σε μία συμπαγή μονάδα που μετρά από 5×10 -10 mbar έως ατμόσφα...
ΜΗ ΕΠΕΜΒΑΤΙΚΟΣ, ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΙΧΝΕΥΣΗΣ RF ΜΕ ΣΦΙΞΙΜΟ ΠΑΡΕΧΕΙ ΓΡΗΓΟΡΗ ΑΝΙΧΝΕΥΣΗ ΑΨΙΔΩΝ ΣΕ iPVD, PECVD ΚΑΙ ΕΚΧΩΡΗΣΗ
Μείωση Απώλειας Wafer και Βελτίωση Αποδ...
Ο αισθητήρας RF με το FabGuard παρέχει ανάλυση διαδικασίας πλάσματος σε πραγματικό χρόνο για σημαντική μείωση της μεταβλητότητας της διαδικασίας
Η τε...
Ο συνδυαστικός μετρητής INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, λειτουργεί ως δύο μετρητές σε μία συμπαγή μονάδα, με μέτρηση από 5×10 -10 mbar έως ατμόσ...
Ο μετρητής Penning PEG100 της INFICON παρέχει αξιόπιστες μετρήσεις υψηλού κενού. Ο ανθεκτικός αισθητήρας κρύας καθόδου Penning δεν έχει νήμα που να κα...
Ο ανιχνευτής Sion™ RF σας παρέχει πιο αυστηρό έλεγχο και υψηλότερες αποδόσεις στις διαδικασίες χημικής εναπόθεσης ατμού (CVD) και διάβρωσης, προσδιορί...
Δοκιμή Διαρροής για τις Υψηλότερες Ποιοτικές Απαιτήσεις
Η INFICON κάνει ένα ακόμη βήμα προς την ανίχνευση διαρροών σε υψηλό επίπεδο με τον ανιχνευτή ...
Η οθόνη κενού INFICON VGD500 συνδέεται με τη σειρά προϊόντων CDG μας για να παρέχει μια οθόνη 4 ψηφίων. Είναι μια μικρή μονάδα που εμφανίζει την πίεση...
Οι μετρητές INFICON Inverted Magnetron Pirani, MPG400 και MPG401, μετρούν από 5 x 10 -9 mbar έως ατμόσφαιρα (3.8 x 10 -9 Torr έως ατμόσφαιρα). Συνδυάζ...
Θέτοντας Νέα Πρότυπα για την Ανίχνευση Διαρροών
Ο ανιχνευτής διαρροών πολλαπλών αερίων INFICON Ecotec E3000 φέρνει νέα επίπεδα παραγωγικότητας και αξ...
Η πιο ισχυρή μηχανή ανάκτησης ψυκτικού που διατίθεται με την καλύτερη εγγύηση στον κλάδο
Η νέα Vortex® Dual συνδυάζει τις αποδεδειγμένες δυνατότητες ...