Ανιχνευτής RF Sion για ανίχνευση πλάσματος

ΜΗ ΕΙΣΒΛΗΤΙΚΟΣ ΑΝΑΡΤΗΜΕΝΟΣ RF-ΑΝΙΧΝΕΥΤΗΣ ΠΑΡΕΧΕΙ ΓΡΗΓΟΡΗ ΑΝΑΓΝΩΡΙΣΗ ΦΩΤΙΣΜΟΥ ΣΕ iPVD, PECVD ΚΑΙ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΕΣ ΕΤΣΙ. Μειωμένες απώλειες wafer και υψηλότερες αποδόσεις Οι φωτισμοί κατά την επεξεργασία πλάσματος μπορούν να προκαλέσουν ζημιές στο στόχο και στην κάμερα, με επακόλουθη ζημιά στο υπόστρωμα και παραγωγή σωματιδίων. Με την αυξανόμενη μίνι-αυτοποίηση, οι μικροηλεκτρονικές συσκευές γίνονται ολοένα και πιο ευάλωτες σε ζημιές που προκαλούνται από φωτισμούς. Οι φωτισμοί μπορούν να εμφανιστούν σε όλες τις διαδικασίες που υποστηρίζονται από πλάσμα, όπως η ιονισμένη φυσική απόθεση ατμού (iPVD), η πλάσμα-υποστηριζόμενη χημική απόθεση ατμού (PECVD) και σε εφαρμογές ετσοποίησης. Ο ανιχνευτής φωτισμού INFICON Sion αποτελεί μια κρίσιμη πρώτη γραμμή άμυνας. Με τη βοήθεια του Sion, οι μικροφωτισμοί μπορούν να αναγνωριστούν γρήγορα και να ληφθούν κατάλληλα μέτρα πριν προκληθούν σημαντικές ζημιές ή παραγόμενα απόβλητα.