Συσκευές με βάση τη μεμβράνη

Αυτή η τεχνολογική πλατφόρμα επιτρέπει τη δομή λεπτών μεμβρανών βασισμένων σε πυρίτιο ή σε wafers SOI, επίσης μέσω διαδικασιών συγκόλλησης wafers. Οι μεμβράνες μπορούν να αποτελούνται από διάφορα λεπτά στρώματα ή στρώματα. Καθιερωμένα υλικά συστήματα είναι π.χ. τα υλικά μεμβρανών Si, SiO2Si3N4, AlN και γραφένιο, καθώς και υλικά ηλεκτροδίων όπως Al, Au, Pt και μεταλλικό γυαλί. Μετά τη συναρμολόγηση, οι μεμβράνες αποκαλύπτονται μέσω διαδικασιών αραίωσης και χάραξης με τη χρήση επιλεκτικής τεχνικής χάραξης. Η τεχνολογική πλατφόρμα είναι βασισμένη σε μέγεθος wafer 6" και συνεχώς εξελίσσεται. Τρέχοντα παραδείγματα συσκευών είναι οι CMUT και PMUT για εφαρμογές στην μη καταστροφική παρακολούθηση/ανάλυση υλικών, στη μέτρηση αποστάσεων, στην ανίχνευση αντικειμένων, στη μέτρηση επιπέδου, καθώς και στην ενδοσκοπική και ακουστική και φωτοακουστική απεικόνιση. Άλλες εφαρμογές αυτών των τεχνολογιών είναι π.χ. οι αισθητήρες πίεσης καθώς και οπτικά φίλτρα και κλείστρα.