Αναλυτής υπολειμματικών αερίων - ΣΕΙΡΑ HPR-30

Αναλυτής υπολειμματικών αερίων για αναλύσεις διαδικασιών υπό κενό - Εύρος μάζας: 200, 300 ή 510 amu - Μετρά τη σύνθεση των αερίων διαδικασιών υπό κενό: ναι - Μέτρηση ρυπάνσεων και ανίχνευση διαρροών: ναι - Ελάχιστη ανιχνεύσιμη συγκέντρωση: 5 ppb - Πίεση δειγματοληψίας (τυπική): 10-3 έως 5 mbar - Πίεση δειγματοληψίας (προαιρετική): <10-4 mbar - Ταχύτητα μέτρησης: έως 500 μετρήσεις ανά δευτερόλεπτο Τομέας χρήσης: Φασματοσκόπιο μάζας για την ανάλυση λεπτών στρωμάτων, πλάσματος και την ανάπτυξη επιφανειών Συστήματα δειγματοληψίας διαδικασιών υπό κενό ρυθμιζόμενα και πολυλειτουργικά: Ανάλυση τάσεων της διαδικασίας Επιλογές εύρους μάζας 200, 300, 500 ή 1000 amu: Παρακολούθηση της ρύπανσης