Σύστημα Επεξεργασίας Επιφανειών με Πλάσμα | Tetra 100

Συσκευή πλάσματος χαμηλής πίεσης, Συσκευή επεξεργασίας επιφάνειας με πλάσμα, Καθαριστής πλάσματος - Οι συσκευές πλάσματος της Diener electronic έχουν καθιερωθεί σε διάφορους βιομηχανικούς τομείς. Με τη συσκευή πλάσματος χαμηλής πίεσης Tetra 100, επενδύετε σε σύγχρονη και μελλοντικά ασφαλή τεχνολογία κρύου πλάσματος σε κενό. Ο όγκος της κάμερας περίπου 100 λίτρα αυτού του συστήματος πλάσματος προσφέρει αρκετό χώρο για την εξυπηρέτηση σειριακής παραγωγής / αυτοματοποίησης. Η επεξεργασία πλάσματος σε χαμηλή πίεση είναι μια αποδεδειγμένη τεχνική για τον ελεγχόμενο καθαρισμό, τη βελτίωση της πρόσφυσης (ενεργοποίηση και χάραξη) και την επικάλυψη λεπτών στρωμάτων σε επιφάνειες υποστρωμάτων. Το πλάσμα παράγεται μέσω της χρήσης υψηλής συχνότητας τάσης στην κενή κάμερα. Κατά τη διαδικασία αυτή, το εισαγόμενο αέριο διαδικασίας ιονίζεται. Τομείς εφαρμογής: - Καθαρισμός χωρίς VOC από οργανικά υπολείμματα - Ενεργοποίηση πριν από τη βαφή, κόλληση, χύτευση, … - Χάραξη PTFE, φωτοευαίσθητου υλικού, οξειδωτικών στρωμάτων, … - Υπερ-υδροφοβικές και -υδροφιλικές επικάλυψεις Διαστάσεις (σταθερή συσκευή - 19" Rack): 600 mm x 1700 - 2100 mm x 800 mm (BxHxT) Υλικό κενής κάμερας: Ανοξείδωτο ατσάλι, Αλουμίνιο Διαστάσεις κενής κάμερας: περίπου 400 mm x 400 mm x 625 mm (BxHxT) - Tmax 3 m Όγκος κενής κάμερας: περίπου 100 λίτρα Κλείσιμο κενής κάμερας: Πόρτα με μεντεσέ, αυτόματη πόρτα Παροχή αερίου: Mass Flow Controller (MFCs) Γεννήτρια: 80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Μέτρηση πίεσης: Pirani, χωρητικόμετρο Ηλεκτρόδια: κατά παραγγελία πελάτη Έλεγχος: Basic PC (Win. CE), Full PC (Win. 10 IoT) Τροφοδοσία: 400 V / 50 - 60 Hz Αντλία κενού: κατά παραγγελία πελάτη